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Kapton聚酰亞胺薄(báo)膜
日期:2016-09-12  人氣:268

  聚酰亞胺薄膜的商品(pǐn)化(huà)始於1965DuPont公司大規(guī)模生產的(de)Kapton薄膜。之後Kanegafuchi化學工業公司和Ube工業公司在20世紀80年代也實現了聚酰亞胺薄膜的商(shāng)品化。

  DuPont公司以商品名Kapton向市場推出一係列聚(jù)酰亞胺材料(liào)。有關材料的詳細性能資料可向DuPont高性能薄膜(mó)材料公司和DuPont日本分公司索取。

  適(shì)用於微電子(zǐ)工(gōng)業的薄(báo)膜有H(N)型、V(N)型、E(N)型和K(N)型等型號。N表示薄膜材料中是否含有可降低材料摩擦係數和增強卷曲性能(néng)(如卷一卷轉移等)的無機潤滑添加劑(jì)(約在1000 ppm數量級(jí))。對於大多數應用,材料都需要潤滑(huá)填充劑,而字母N表示含有潤滑劑。

 H(N)V(N)型薄膜都是由均苯四(sì)酸(suān)二酐(PMDA),和44 7一二氨基二苯醚(ODA)經化學反應製備的。它們的不同之處在於V(N)H(N)型材(cái)料具有優異的體積穩定性,在25300的溫度範圍內的(de)收縮率很小。

  E(N)型薄膜也含有PMDAODA,但同(tóng)時也含有其他的(de)有機芳香(xiāng)族(zú)四酸二酐,如33’,44’一聯(lián)苯四酸二酐(BPDA)和對(duì)苯二胺(PPD)等。

  E(N)型(xíng)薄膜含有四種類(lèi)型的酰亞胺鍵。不同的單體配比對(duì)材料的性能影響很大,但商品化的材(cái)料中確切的單體配比至今也沒有公開。E(N)型薄膜具有比H(N)V(N)型薄膜更高的模量、更低(dī)的熱膨脹係數以及更低的吸濕性。它的(de)優點是在工藝過程中形變小,因此更適合於和導電層如銅相匹配,同(tóng)時在器件鍵(jiàn)合過程中不易起泡。另外,E(N)薄膜還可以用堿性溶液刻蝕製作圖(tú)形。

  K(N)聚酰亞胺薄膜PMDAODAPPD等單體製備,但是,兩種有機芳香族二胺之間的克分子比至今還沒有公開。K(N)型薄(báo)膜(mó)旨在提供一種模量介於H(N)型或V(N)E(N)型之(zhī)問、TCE和銅相近、在堿性溶液中容易刻蝕(shí)的材料。其吸濕性比H(N)型、V(N)型(xíng)和E(N)型的高。


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