PW-1500S型聚酰亞胺薄膜的製作過程如下：

（1） 先用丙酮對2英（yīng）寸的BF33硼矽玻璃基底超聲清洗15 min，再用無水（shuǐ）乙醇超聲清洗15 min，最後用去離子水（shuǐ）

超聲清洗2次，每次10 min，清洗完後將其放在110 ℃的烘箱中烘30 min；

（2） 用勻膠機（KW-15，中國科學院（yuàn）微電子研究所）旋塗PW-1500S型（xíng）聚酰亞胺前驅體，低（dī）速為300 r/min、時

間為10 s，高（gāo）速為1 200 r/min、時間為40 s；

（3） 在熱板（AI-508T，中國電子科技集團第十三研究所）上對薄膜進行前烘，溫（wēn）度為120 ℃，時間為3 min；

（4） 在（zài）高溫氮氣烘箱（xiāng）（SG-HX500，中國科學院上海光學精密（mì）機（jī）械研究所（suǒ））中對（duì）薄膜進行固化，固（gù）化（huà）參數為：50 ℃、30 min，140 ℃、30 min，350 ℃、60 min，升（shēng）溫速率為（wéi）3.5 ℃/min，整個過程需要（yào）氮氣保護，固化後隨爐冷卻。

FB-5410型和ZKPI-520型聚酰亞胺薄膜的製造過程與PW-1500S型聚酰（xiān）亞胺薄膜（mó）的製作過程完全相同，隻是聚酰亞胺前驅體的旋塗工藝參數和（hé）前烘工藝參數略（luè）有不同。

FB-5410 型聚酰亞胺（àn）前驅體的（de）旋塗工藝參數為（wéi）：低（dī）速為600 r/min、時間為9 s，高速為1 400r/min、時間為40 s；前烘工藝參數為：溫度為115 ℃、時間（jiān）為（wéi）3 min。ZKPI-520型聚酰亞胺前驅體的旋塗工藝（yì）參數為：低（dī）速為600 r/min、時間為9 s，高速為1 200 r/min、時間為40 s；前烘工藝參數為：溫度為（wéi）110 ℃、時間為70 s。